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期刊論文
學年度89
期刊等級SCI
論文名稱(篇名)Novalak-Diazonaphthoquinone resists: The central role of phenolic striings
期刊名J. Vac. Sci. Technol. B
出版日期2000-02-00
卷數18
期數3
起迄頁1288
作者中文名韓于凱
作者英文名Han, Yu-Kai
全部作者Arnost Reiser*, Zhenglin Yan, Yu-Kai Han, and Myoung Soo Kim
著作人數4
作者型態Other
使用語言英文
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