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期刊論文
學年度94
期刊等級SCI
論文名稱(篇名)Argon ion beam voltage in a dual ion beam sputtering system influence on the aluminum nitride films microstructure
期刊名Vacuum
卷數78
起迄頁539
起迄頁53
作者中文名陳弘穎
作者英文名Chen, Hong-Ying
全部作者S. Han, H.-Y. Chen, Han C. Shih
著作人數3
作者型態Other
附加檔案 檔案下載 Word
參考網址http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X05001004
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