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期刊論文
學年度94
期刊等級SCI
論文名稱(篇名)Oxidation Behavior of Titanium Nitride Films
期刊名J. Vac. Sci. Technol. A
卷數23
起迄頁1006
起迄頁1009
作者中文名陳弘穎
作者英文名Chen, Hong-Ying
全部作者H.-Y. Chen and F.-H. Lu
著作人數2
作者型態First Author
附加檔案 檔案下載 Word
參考網址http://ieeexplore.ieee.org/xpl/freeabs_all.jsp?arnumber=4923665&abstractAccess=no&userType=inst
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