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期刊論文
學年度95
期刊等級SCI
論文名稱(篇名)Argon Ion Beam Voltages Influence the Microstructure of Aluminum Nitride Films in a Dual Ion Beam Sputtering System
期刊名Nuclear Inst. Methods in Physics Research B
卷數242
起迄頁396
起迄頁398
作者中文名陳弘穎
作者英文名Chen, Hong-Ying
全部作者H.-Y. Chen, S. Han, and H.-C. Shih
著作人數3
作者型態First Author
附加檔案 檔案下載 Word
參考網址http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0168583X05015570
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