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期刊論文
學年度95
期刊等級SCI
論文名稱(篇名)The characterization of aluminum nitride thin films prepared by dual ion beam sputtering
期刊名Surf. Coat. Technol.
卷數200
起迄頁3326
起迄頁3329
作者中文名陳弘穎
作者英文名Chen, Hong-Ying
全部作者H.-Y. Chen, S. Han, and H.-C. Shih
著作人數3
作者型態First Author
附加檔案 檔案下載 Word
參考網址http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0257897205007322
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