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專案計畫
計畫類別國科會專題研究計畫
年度94
計畫名稱電漿-吸收劑-觸媒混合系統轉化處理半導體業氟化物氣體之反應機制(2/2)
計畫時間2005年08月 ~ 2006年07月
擔任之工作主持人
補助/委託機構國科會
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